干燥工藝

漂洗完成之后，洗凈的物體表面仍附著一部分溶劑，干燥工藝是通過汽化的方法使溶劑去除獲得清潔干燥表面的過程。

為使干燥順利進(jìn)行通常把洗凈的物體在高溫干燥環(huán)境中放置一段時(shí)間使其自然干燥。在工業(yè)清洗中為了提高干燥速度，往往通入溫和的干燥熱風(fēng)進(jìn)行干燥。干燥的速度主要由送入的空氣溫度、濕度、風(fēng)速以及清洗對(duì)象表面溫度等條件決定。如使用易燃、安全性差的溶劑作清洗劑時(shí)，使用的通風(fēng)空氣溫度有一定限制。

清洗物體表面溫度越高，干燥效率越高，對(duì)熱傳専效率比較低的清洗物體，漂洗工藝中溫度保持較高對(duì)后續(xù)干燥工藝是有利的。提高風(fēng)速有利于溶劑從清洗物體表面擴(kuò)散和汽化蒸發(fā)。為了使清洗物體各個(gè)表面都受到均勻的風(fēng)力作用，應(yīng)該使清洗物體之間保持有一定的間隔，用氣刀狀噴嘴形成的強(qiáng)風(fēng)速進(jìn)行干燥，容易獲得良好的效果。

對(duì)高沸點(diǎn)清洗溶劑或殘存在清洗物體表面狹窄縫隙中的溶劑進(jìn)行干燥時(shí)，使用真空干燥的方法效果較好。由于溶劑汽化時(shí)吸熱會(huì)使清洗物體表面溫度下降而不利于蒸發(fā)，因此在干燥之前應(yīng)盡可能提高清洗物體的溫度。

清洗干燥階段應(yīng)注意的問題

用水做漂洗劑時(shí)，在干燥階段最易出現(xiàn)的問題是在清洗物體表面留下水斑。

由于水是價(jià)格便宜、溶解力強(qiáng)而且分散力強(qiáng)的液體，因此常被用作漂洗液。但水在干燥過程中會(huì)出現(xiàn)一些問題，首先因?yàn)榉悬c(diǎn)較高（100°C）而且汽化熱大，所以干燥脫水時(shí)要耗費(fèi)較多能量和較長時(shí)間。

漂洗用水中往往溶解有一些雜質(zhì)，而水有很大表面張力。所以當(dāng)水在清洗物體表面慢慢蒸發(fā)時(shí)，隨著干燥的進(jìn)行逐漸形成圓球狀水滴并逐漸縮小半徑，當(dāng)最后水滴完全蒸發(fā)后就會(huì)在物體表面留下環(huán)狀的水斑殘跡。水斑是由溶在水中的雜質(zhì)在水滴蒸發(fā)濃縮過程中殘留下來的痕跡。

在工業(yè)精密清洗中不希望有水斑生成，因此要用潔凈度高的純水或超純水做漂洗用水，但純水仍含有微量雜質(zhì)，還有生成水斑的可能。為解決水斑形成的問題，可采用風(fēng)扇一刮刀狀風(fēng)壓的方法進(jìn)行干燥或采用離心力使表面附著的水被甩掉。

當(dāng)清洗半導(dǎo)體硅片等平板狀物體時(shí)可沿著與水平面垂直方向把浸在水中的物體慢慢拉上來離開水面并同時(shí)用熱風(fēng)進(jìn)行干燥的方法。這種上拉干燥法可防止水滴在表面凝聚，阻止水斑生成很有效。為防止干燥過程形成水斑，也可以水漂洗后用低沸點(diǎn)有機(jī)溶劑把水置換去除再進(jìn)行干燥。

氟氯燒蒸氣清洗中的干燥處理

在有機(jī)溶劑中氟氯坯CFC-113是最適合用于蒸氣清洗的溶劑。通常采用的工藝如下。

（1）蒸氣清洗一加壓噴射一蒸氣干燥

在蒸氣清洗槽中用CFC-113溶劑作清洗劑。利用被加熱至沸騰產(chǎn)生的蒸氣在冷工件表面冷凝，對(duì)工件表面油污產(chǎn)生浸洗作用使工件進(jìn)行初步清洗。然后用蒸館回收的潔凈液體CFC-113溶劑在適當(dāng)加壓條件下對(duì)工件進(jìn)行噴射清洗。最后把噴射清洗后的工件放在CFC-113蒸氣中再次清洗，并使工件溫度升高達(dá)到干燥目的。

（2）熱浸一冷漂一噴洗一氣洗干燥

首先將清洗物體浸入加熱至沸騰的CFC-113溶劑中進(jìn)行清洗，使工件表面大部分油污被洗掉，然后浸入清潔的溫度較低的CFC-113溶劑中漂洗。漂洗之后再用潔凈的CFC-113溶劑噴洗以去除殘余的污垢，最后再用蒸氣清洗并干燥。

（3）超聲波浸洗一噴洗一氣洗干燥

首先在帶有超聲波裝置的CFC-113浸洗槽中處理，在超聲波的強(qiáng)大空化作用下使頑固附著的污垢得以去除。再用潔凈的CFC-113溶劑進(jìn)行噴洗，最后放入蒸氣清洗槽中進(jìn)一步清洗并干燥。

由以上工藝可以看出，氟氯炷蒸氣清洗在油垢不多的干燥階段使用有較好效果。如果選擇替代清洗劑，也要盡量達(dá)到同樣、甚至更好的效果。